Sistem air pendingin
Sistem air pendingin proses terdiri dari bagian-bagian berikut: pendingin, pompa, penukar panas, tangki air, filter, dan peralatan proses.
Pendingin air: Menyediakan sumber dingin untuk sistem air pendingin.
Pompa air: memberi tekanan pada air untuk memastikan sirkulasinya dalam sistem pendingin.
Penukar panas: Gunakan peralatan ini untuk menukar panas antara sistem air dingin dan sistem air dingin untuk mentransfer panas yang dihasilkan di ujung beban sistem ke sistem air dingin.Ada banyak jenis penukar panas, yang dapat dibagi menjadi tipe shell-and-tube, tipe pelat, tipe sirip pelat, tipe pipa panas, dll sesuai dengan bentuknya.Sebagai perbandingan, penukar panas pelat memiliki keunggulan berupa tapak yang kecil dan area perpindahan panas yang besar.Mengingat karakteristik biaya ruang dan luasdi pabrik semikonduktor, peralatan dengan tapak kecil lebih disukai untuk menghemat luas lahan dan biaya teknik.
Tangki air: Tangki air dalam sistem terbuka terutama berperan sebagai penambah sumber air.Tangki air dalam sistem tertutup perlu memilih tangki air ekspansi.Tangki air ekspansi memiliki tiga fungsi.Salah satunya adalah untuk menahan dan mengimbangi pemuaian dan penyusutan air dalam sistem;yang lainnya adalah memberikan tekanan yang stabil pada sistem sirkulasi air tertutup dan berperan dalam stabilisasi sistem;Yang ketiga sebagai indikasi sistem pompa air, biasanya tangki ekspansi mengirimkan sinyal untuk menghidupkan atau mematikan pompa air sistem.
filter: menyaring partikel padatAda dua sistem yang relatif independen dalam proses sistem air pendingin, air dingin dan air pendingin.Air dingin disediakan oleh chiller, dan air dingin serta air pendingin bertukar panas untuk mendinginkan air pendingin dan menurunkan suhu peralatan.Air dipompa dari peralatan produksi melalui pompa air ke penukar panas untuk memastikan suhu air pendingin proses dengan mengontrol jumlah air dingin, kemudian dikirim ke peralatan lini produksi setelah melewati filter, dan kemudian kembali ke pompa air.Proses pembentukan air pendingin bersirkulasi berulang kali.Air dingin langsung dikembalikan ke chiller.
