100,000 tingkat pemurnian debu
1. Kebersihan udara ruangan bersih harus diuji sebagai berikut
(1) Keadaan kosong, uji statis
Uji keadaan kosong: Ruang bersih telah selesai, sistem pendingin udara murni beroperasi normal, dan pengujian dilakukan tanpa peralatan proses dan personel produksi di dalam ruangan.
Uji statis: Sistem pendingin udara pemurnian ruangan bersih beroperasi normal, peralatan proses telah dipasang, dan pengujian dilakukan tanpa personel produksi di dalam ruangan.
(Dua) tes dinamis
Ruang bersih telah diuji dalam kondisi produksi normal.
Deteksi volume udara, kecepatan angin, tekanan positif, suhu, kelembapan, dan kebisingan di ruangan bersih dapat dilakukan sesuai dengan peraturan terkait penggunaan umum dan pendingin ruangan.
Tabel tingkat kebersihan udara ruangan (area) bersih
| Tingkat kebersihan | Jumlah maksimum partikel debu yang diperbolehkan/m3≥0,5μmJumlah partikel debu | ≥5μmJumlah partikel debu | Jumlah mikroorganisme maksimum yang diperbolehkan Bakteri planktonik/m3 | Mengendap bakteri/piring |
| 100kelas | 3.500 | 0 | 5 | 1 |
| 10.000kelas | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
| 100,000kelas | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
| 300,000kelas | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |
